低电阻率测试仪

低电阻率测试仪定义：

参数：

1. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直 径：圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

方测试台直接测试方式 180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R 口

以及体电阻 R，测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻 R 口以及体电阻 R 测试的基本修正系数设定， 还提供了产品厚度 G、外形和测试位置的修正系数 D 设定，极大的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式，方便了用户同时测试多个参数，提高测试效率。整机测量最大相对误差：≤±3%；整机测量标准不确定度：≤±3%四位半显示读数；八量程自动或手动测试；范围宽： 电阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；正反向电流源修正测量电阻误差恒流源：电流量程分为： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。

3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

在设定模式下（设定完毕，保存好数据后），选择测量类别（电阻率ρ、方块电阻

（薄片电阻率）R 口或体电阻 R 中三选一，切换仪器到“测量"模式，窗口左侧“测量" 模式灯亮。电阻测量,注意良好接触，电压测试端在内侧；半导体参数测试，将探针与样品良好接触，注意压力要适中；由数字显示窗直接读出测量值。

注意！测量状态中，电流量程默认为自动方式，也可调整为手动方式，手动方式下， 电流量程适合的，仪器会稳定显示数据，电流量程不适合的会给出超量程或欠量程闪烁提示，对于超量程，说明电流过大，要调到较小电流档；对于欠量程，说明电流过小， 要调到较大电流档。

低电阻率测试仪注意事项：