产品概述
低电阻率测试仪定义:
参数:
材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直 径:圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
方测试台直接测试方式 180mm×180mm,手持方式不限. 长(高)度: 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
BEST-300C 测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻(薄片电阻率)R 口
以及体电阻 R,测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。
本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻 R 口以及体电阻 R 测试的基本修正系数设定, 还提供了产品厚度 G、外形和测试位置的修正系数 D 设定,极大的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式,方便了用户同时测试多个参数,提高测试效率。整机测量最大相对误差:≤±3%;整机测量标准不确定度:≤±3%四位半显示读数;八量程自动或手动测试;范围宽: 电阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;正反向电流源修正测量电阻误差恒流源:电流量程分为: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档;仪器配有恒流源开关可有效保护被测件,即先让探针头压触在被测材料上,后开恒流源开关,避免接触瞬间打火。为了提高工作效率,如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时,恒流源开关可一直处于开的状态。可配合多种探头进行测试;也可配合多种测试台进行测试。校正功能:可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。厚度可预设,自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。双电测测试模式,测量精度高、稳定性好.具备温度补偿功能,修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。比较器判断灯直接显示,勿需查看屏幕,作业效率得以提高。
3档分选功能:超上限,合格,超下限,可对被测件进行HI/LOW判断,可直接在LCD使用标志显示;也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。测试模式:可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据软件功能(选配):软件可记录、保存、各点的测试数据;可供用户对数据进行各种数据分
在设定模式下(设定完毕,保存好数据后),选择测量类别(电阻率ρ、方块电阻
(薄片电阻率)R 口或体电阻 R 中三选一,切换仪器到“测量"模式,窗口左侧“测量" 模式灯亮。电阻测量,注意良好接触,电压测试端在内侧;半导体参数测试,将探针与样品良好接触,注意压力要适中;由数字显示窗直接读出测量值。
注意!测量状态中,电流量程默认为自动方式,也可调整为手动方式,手动方式下, 电流量程适合的,仪器会稳定显示数据,电流量程不适合的会给出超量程或欠量程闪烁提示,对于超量程,说明电流过大,要调到较小电流档;对于欠量程,说明电流过小, 要调到较大电流档。
低电阻率测试仪注意事项:
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